Domaj nan elektrisite estatik nan chanm pwòp
Semiconductors, flat panel displays, optoelectronics ak lòt chanm pwòp, malgre anpil travay, pwoblèm Electrostatic nan chanm pwòp toujou afekte pwodiksyon sekirite ak pwodiksyon rendement, ki afekte fabrication coûts Et benefis, afekte bon kalite pwodwi ak fiabilité.
1. Electrostatic Coulomb force
Anba aksyon fòs Electrostatic Coulomb la, pousyè a adsorbed ak pousyè tè lakòz konpozan koule oswa fòme yon kous kout, ki afekte pèfòmans ak diminye anpil sede a ak disponiblite. Si gwosè a patikil nan pousyè tè a se> 100 μm, lajè a nan fil la aliminyòm se sou 100 μm, ak epesè nan fim nan oksid se 50 μm, pwodwi a gen plis chans yo dwe trete. Koulye a, dyamèt la fil se sibtilite, fim nan oksid se trè mens, ak patikil yo pousyè ak gwosè ti patikil pral fè dega nan konpozan yo. Sa rive sitou nan pwosesis pou netwaye korozyon, fotolitografi, soude tach ak anbalaj.
2, electrostatic egzeyat ESD
(1) fim nan oksidatif fim nan eleman an kase, ak plon an ap kònen oswa liy lan ap kònen. Si kò imen an pote 10KV (100PF) nan chaj estatik, ESD rive lè se aparèy la manyen, ak batman kè egzeyat tèt yo baton jiska 20A (10 ~ 100s) ka fòme enstantane sou tè a, nou pa mansyone dansite segondè, amann fil dyamèt, mens SiO2 fim. Lsi, Vlsi, se IC jeneral la, MOS ap soufri domaj.
Anjeneral pale, fòse jaden an vòltaj reziste nan fim nan aparèy Izolan pòtay SiO2 se E = (5-10) × 106V / cm. Si epesè fim nan nan SiO2 aparèy la se 1000, vòltaj la estatik nan 50V-100V oswa plis yo pral frape lè se PIN la opinyon aparèy aplike. Mete, ak kò a ak elektrisite estatik plis pase 50V, 100V se trè komen.
(2) sa ki lakòz bri ak émettant entèferans elektwomayetik
ESD lakòz EMI gen yon pik byen file anvan ak apre onn elektwomayetik, ak siyal la se fò, ki se ekivalan a yon vòl kèk nan enèji nan kous la. Frekans lan kouvri yon MH2 kèk oswa dè santèn de MH2 nan bri fò, ki ka lakòz domaj eleman, ekipman ak detèktè pa travay byen, oswa menm lakòz Aparèy la te fè aksidan.
EMI a ki te koze pa ESD tou ki lakòz yon opinyon nan yon siyal erè oswa yon fenomèn kole. Nan yon chanm pwòp, se bwat EMIF la nan pen plat yo mete sou yon Trolley asye, ak ESD a nan pen plat la transmèt nan Trolley a nan endikatè la. Wou a izole, ak difizyon nan EMI lakòz moun ki okipe wafer a aksidan.
(3) Chòk elektrik nan kò imen an
Lè ESD nan kò imen an oswa ESD nan kò imen an depase kouran elektrik aktyèl kò imen an nan 5 mA oswa plis, moun ki pral gen santiman divès kalite blesi, sa ki lakòz enkyetid anplwaye anplwaye a ak erè operasyonèl.
Sal netwayen tankou semi-kondiktè, montre panèl plat, ak opto-elektwonik yo te fè anpil travay, men pwoblèm estatik nan cleanrooms toujou afekte pwodiksyon sekirite ak pwodiksyon rendement, ki afekte depans fabrikasyon ak benefis yo, epi ki afekte bon jan kalite pwodwi ak disponiblite. Dapre etranje ekspè endistriyèl, pèt anyèl la nan pwodwi akòz estatik elektrisite nan Etazini an mwayèn 8-33%. Gen kèk moun ki estime ke domaj anyèl endistri elektwonik nan Etazini yo vo 10 milya dola ameriken. Nan ane 1980 yo, Japon analize pwodwi elektwonik yo. Pèt yo ki te koze pa ESD kont pou 1/3. Semiconductors Lachin nan, plat-panèl ekspozisyon kristal likid, opto-elektwonik, elatriye tout te kòmanse an reta, men danje Electrostatic tou rive de tan zan tan, ak sede a ba. Bank yo, sekirite konpayi yo, bazdone konfidansyèl, sant siveyans, pouvwa expédition chanm, elatriye, si ESD rive, li fasil pou lakòz entèferans, ak done yo pèdi, sitiyasyon an se menm pi grav.